結構組成

• 隔膜：是泵的核心部件，通常由高性能彈性體或含氟聚合物制成，具有良好的柔韌性和耐腐蝕性，其作用是通過往復運動改變泵腔容積，同時將泵腔與驅動機構密封隔離。

• 泵頭：與隔膜一起構成密封泵腔，其內部幾何形狀通常設計成凹陷的 “圓頂" 形狀，以提高效率和真空度，材料多為聚四氟乙烯、不銹鋼或耐化學性樹脂等。

• 閥門系統：由進氣閥和排氣閥組成，通常為壓力激活的單向閥，如柔性活瓣閥、簧片閥或球閥，用于控制氣體的進出方向。

• 傳動系統：一般包括電機、曲軸、連桿等部件，其作用是將電機的旋轉運動轉換為隔膜的往復運動。

特點

• 無油運行：運行時不使用油作為工作介質，無碳氫化合物和顆粒物產生，能提供潔凈的真空環境，避免了對被抽氣體和環境的污染。

• 耐腐蝕性強：可采用耐腐蝕材料制造隔膜和泵腔，適用于抽吸腐蝕性氣體。

• 低振動和噪聲：運行時振動和噪聲級較低，通常低于 50dB (A)，適合在對環境要求較高的場所使用。

• 維護簡單：隔膜和閥門等易損件更換方便，維護成本低。