吸入階段驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)（如電機(jī)、氣動(dòng)活塞）帶動(dòng)膜片向遠(yuǎn)離泵腔的方向運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致泵腔內(nèi)容積增大、壓力降低，形成負(fù)壓。此時(shí)，入口單向閥（吸入閥）在外界大氣壓作用下打開(kāi)，流體被吸入泵腔；出口單向閥（排出閥）因泵腔內(nèi)壓力低于出口管路壓力而關(guān)閉。

排出階段驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)反向運(yùn)動(dòng)，推動(dòng)膜片向靠近泵腔的方向擠壓，泵腔內(nèi)容積減小、壓力急劇升高。此時(shí)，出口單向閥在高壓作用下打開(kāi)，泵腔內(nèi)的流體被壓出至出口管路；入口單向閥因泵腔內(nèi)壓力高于外界壓力而關(guān)閉，避免流體回流。

循環(huán)往復(fù)膜片隨驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)持續(xù)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，入口閥與出口閥交替開(kāi)關(guān)，實(shí)現(xiàn)流體的連續(xù)、穩(wěn)定輸送。